机译:低温生长过程中等离子体产生的负氧离子撞击对磁控溅射非晶SiO 2薄膜的影响
机译:低温生长过程中等离子体产生的负氧离子撞击对磁控溅射非晶SiO2薄膜的影响
机译:低温生长过程中等离子体产生的负氧离子撞击对磁控溅射非晶SiO_2薄膜的影响
机译:掺铝ZnO靶形成负氧离子的机理及低温离轴直流磁控溅射薄膜的电学和光学性能的改进
机译:添加氧和衬底温度对射频磁控溅射制备Al掺杂ZnO薄膜织构生长的影响
机译:射频反应磁控溅射在低温下沉积在硅上的压电氮化铝薄膜的声波器件特性
机译:氧浓度对超薄射频磁控溅射沉积铟锡氧化物薄膜作为光伏器件上电极的性能的影响
机译:中频,高功率脉冲和直流磁控溅射在低温生长低摩擦耐磨无定形氮化碳薄膜